




氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇
今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體有哪些要求,希望對(duì)您有所幫助!
(1)無(wú)害,不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質(zhì)量輕,惰性氣體,穿透能力強(qiáng),能穿透微小細(xì)縫;
(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿(mǎn)足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
氦氣檢漏儀
氦氣檢漏儀是氦質(zhì)譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱(chēng),運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱(chēng)為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng):科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊(cè)資金500萬(wàn)。質(zhì)譜儀通過(guò)其核心部件質(zhì)譜室,使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后,不同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中彼此分開(kāi),而相同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中匯聚在一起,如果在適當(dāng)位置安置接收1器接收所有這些離子,就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開(kāi)排列的質(zhì)譜圖,這就是質(zhì)譜。
用于檢漏的質(zhì)譜儀稱(chēng)為質(zhì)譜檢漏儀。測(cè)量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計(jì),如四極質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)等都可以用于檢漏。
專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的以氦氣作示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱(chēng)為氦質(zhì)譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外,還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無(wú)毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀。
眾所周知,當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)(正離子)以速度v進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中,如果速度v的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直,則它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓,如圖1所示。當(dāng)磁場(chǎng)的磁通密度一定時(shí),不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場(chǎng)中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場(chǎng)分析器中運(yùn)動(dòng)后就會(huì)彼此分開(kāi)。氦質(zhì)譜檢漏常見(jiàn)問(wèn)題氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器,那么在使用過(guò)程中我們又遇到哪些問(wèn)題呢。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對(duì)應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開(kāi)一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過(guò)狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測(cè)量?jī)x表指示出來(lái)。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來(lái),達(dá)到了檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀光無(wú)源器件檢漏
光無(wú)源器件是不含光能源的光能器件的總稱(chēng)。光無(wú)源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢測(cè)儀的標(biāo)準(zhǔn)器選擇北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀創(chuàng)新的小編就大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,希望對(duì)大家有所幫助。光無(wú)源器件有光纖連接器、光開(kāi)關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們?cè)诠饴分蟹謩e實(shí)現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號(hào)調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用。
光無(wú)源器件是不含光能源的光功能器件的總稱(chēng)。光無(wú)源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。光無(wú)源器件有光纖連接器、光開(kāi)關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們?cè)诠饴分蟹謩e實(shí)現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號(hào)調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用。
無(wú)源器件檢漏原因:光無(wú)源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過(guò)標(biāo)準(zhǔn),可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣。光無(wú)源器件對(duì)密封性的要求極高,如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于 5×10-8 mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應(yīng)用于光無(wú)源器件的檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見(jiàn)圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測(cè)試口與閥門(mén)組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng),此處容易造成密封膠開(kāi)裂。05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。②各電磁閥與閥門(mén)組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時(shí),有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè),因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開(kāi),避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié),造成定位不準(zhǔn)確。熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式,因?yàn)楫a(chǎn)品沒(méi)有抽真空的標(biāo)準(zhǔn)接口,上海伯東根據(jù)客戶(hù)實(shí)際情況定制真空夾具,一頭連接檢漏儀,一頭連接產(chǎn)品,具體做法如下:1。②噴吹時(shí),要嚴(yán)格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍?zhuān)岣叨ㄎ坏哪芰?。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s,所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s,再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。
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